英國(guó)南安普敦大學(xué)當(dāng)?shù)貢r(shí)間 4 月 30 日宣布開(kāi)設(shè)全球第二家電子束光刻工廠。這是日本境外的首座同類設(shè)施，也是歐洲首個(gè)尖端半導(dǎo)體工廠。據(jù)了解，不同于現(xiàn)有的主流商用技術(shù)路線 —— 激光圖案化，電子束光刻以高能電子對(duì)光刻膠進(jìn)行曝光，繪制出半導(dǎo)體電路圖案。

電子束光刻技術(shù)具備優(yōu)秀的分辨率，可不經(jīng)過(guò)掩膜直寫，但也存在著效率較低、控制復(fù)雜的等弱點(diǎn)，在實(shí)際商業(yè)生產(chǎn)中通常被用在掩膜制作這一輔助工藝中，不以核心工藝技術(shù)出現(xiàn)。 

出席活動(dòng)的英國(guó)科技部國(guó)務(wù)大臣 Patrick Vallance 表示：英國(guó)擁有一些世界上最令人興奮的半導(dǎo)體研究成果，南安普敦的新電子束設(shè)施將極大地提升我們國(guó)家的能力。通過(guò)對(duì)基礎(chǔ)設(shè)施和人才兩方面的投資，我們?yōu)檠芯咳藛T和創(chuàng)新者提供在英國(guó)開(kāi)發(fā)下一代芯片所需的支持。 

來(lái)源：IT之家